招標(biāo)編號：0730-1040GD04G003
中航技國際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司受買方委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)， 本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo) 方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：
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測量和控制單元
主要系統(tǒng)應(yīng)包括計(jì)算機(jī)、顯示器、控制器及電源裝置
系統(tǒng)尺寸：大約W2700*L3000*H2700 重量約7噸包括一個控制塔

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氣體處理流量要求
SiH4：60slm以上
NH3：200slm以上
PH3：75slm以上
NF3：100slm以上
H2：120slm以上
Ar：36slm以上
N2：1260slm以上

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缺陷偵測
FPI-6590F 在X/Y運(yùn)動的臺面上掃描基板，從而獲得基板上的TFT 像素圖像進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換等圖像分析. 進(jìn)而發(fā)現(xiàn)缺陷并且報(bào)告給用戶.
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改造硬件要求
測定電極變更為高感度PH檢出電極。
拆除多余的一個試藥部，一個滴定Pump。
樣品采樣器更新。
乙二醇?xì)飧赘隆?

軟件要求
具備自診斷機(jī)能。

具備藥液添加的記錄功能。


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X – Y 臺面：
臺面：Gantry 架構(gòu)
線性光學(xué)尺的應(yīng)用，可提供精準(zhǔn)的位置（X and Y）回饋
在軟硬件控制下，X和Y軸運(yùn)動范圍可控制在1750mm X 2100mm
校驗(yàn)后，臺面精度+/- 10 um (最大范圍)；重復(fù)精度：+/- 2 um
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管外徑≤12.7mm 的彎頭可在現(xiàn)場使用專用彎管器煨制，彎頭彎曲半徑等于或大于管徑的 10 倍(5 倍管外徑），且變形率小于 5％。彎管加工困難的地方可用成品彎頭；
管外徑大于 12.7mm 的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭。
當(dāng)安裝中斷或結(jié)束時, 所有的系統(tǒng)都應(yīng)充氬氣保護(hù)，不得中斷，其流量應(yīng)保持 2-5L/min。
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叉手長度： CVD用≥基板接觸1300mm+延長部458.5mm+固定部180mm
AFM用≥基板接觸1300mm+延長部338.5mm+固定部180mm
Array Check用≥基板接觸1300mm+延長部458.5mm+固定部180mm
S/R 用LD≥基板接觸1300mm+延長部458.5mm+固定部180mm
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卡匣
卡匣尺寸：1160(W)mm×1350(D)mm×898(H)mm
卡匣容量：20片
第一片玻璃距卡匣底部:68mm
卡匣兩側(cè)支撐的間距: 1295mm
卡匣有背部支撐桿


2、招標(biāo)文件售價(jià)：01-RMB 2000.00 Or USD 310.00 02-RMB 1000.00 Or USD 160.00 03-RMB 3000.00 Or USD 460.00 04-RMB 500.00 Or USD 80.00 05-RMB 1500.00 Or USD 230.00 06-RMB 2000.00 Or USD 310.00 07-RMB 3000.00 Or USD 460.00 08-RMB1000.00 Or USD160.00
3、購買招標(biāo)文件時間：2010年11月27日至2010年12月17日 9時至16時 節(jié)假日除外
4、購買招標(biāo)文件地點(diǎn)：北京市朝陽區(qū)慧忠路５號遠(yuǎn)大中心Ｂ座２０層
5、投標(biāo)截止時間和開標(biāo)時間：2010-12-17 10:00
6、開標(biāo)地點(diǎn)：上海中航光電子有限公司
地 址：***
郵編：201108
電子郵箱***
電話：***
傳真：***
聯(lián)系人***
開戶銀行（人民幣）：浦發(fā)銀行北京亞運(yùn)村支行
開戶銀行（美元）：中國銀行總行營業(yè)部
帳 號（人民幣）：91160155350000020
帳 號（美　元）： 00289708094014 SWIFT CODE：BKCHCNBJ